中導(dǎo)光電離線自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備,其主要應(yīng)用于陣列面板、彩膜面板、觸摸屏面板和有機(jī)發(fā)光二極管面板的缺陷檢測(cè),最高測(cè)量精度為1.0微米級(jí),處于國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。