NanoPro-100系列產(chǎn)品是中導(dǎo)光電首臺(tái)推向市場(chǎng)的納米圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備,其適用于0.13-0.18um工藝產(chǎn)線的IC有圖形和無(wú)圖形晶圓缺陷檢測(cè)。